臺式掃描電鏡的測量過程分為兩個基本步驟：掃描和探測。在掃描過程中，電子束按照一定的模式在樣品表面上進行掃描，掃描線圈在水平和垂直方向上控制電子束的位置。在探測過程中，樣品表面與電子束相互作用，產生多種種類的信號。常見的信號包括：次級電子(Secondary Electrons,SE)、散射電子(Back scattered Electrons,BSE)、熒光X射線(X-Ray Fluorescence,XRF)和樣品電流等。
次級電子是由電子束與樣品表面原子的相互作用所產生的。這些電子在樣品表面附近發生幾次散射后，離開樣品，并被探測器所探測到。次級電子的信號可以用于獲得樣品的表面形貌信息，因為次級電子的發射與樣品表面的幾何形貌有關。
散射電子是由電子束與樣品表面原子的相互作用所產生的。這些電子經過一定的散射過程后，返回到探測器，并形成散射電子圖像。散射電子的信號可以用于獲得樣品的組成信息，因為散射電子受到樣品原子的核電荷和原子序數的影響，從而可以得到元素的分布情況。
熒光X射線是由電子束與樣品原子間的相互作用所產生的。當電子束與樣品原子相互作用時，被激發的內層電子會躍遷至低能級，釋放出X射線。這些X射線可以用于獲得樣品的元素組成信息和分布情況。
樣品電流是由電子束與樣品之間的相互作用所產生的。電子束在樣品表面上產生電子影響時，會引起電子的發射，從而產生一個電流。這個電流可以用于獲得樣品的導電性和電子能量分布等信息。
臺式掃描電鏡常用于以下領域：
1.觀察和分析各種材料的微觀形貌、表面形貌以及顆粒形態等，可用于制備材料的表征、材料缺陷分析等。
2.對生物樣品進行高清晰度成像，觀察生物細胞、細胞器、組織結構等微觀結構，用于生物學研究、醫學研究等領域。
3.具有高分辨率和高增倍倍率的特點，可觀察納米顆粒、納米結構等微觀顆粒的外觀和形貌，有助于納米材料研究等領域。
4.可以用于觀察和分析環境污染物、顆粒物等相關樣品的形貌和組成，可以幫助了解污染源、污染程度以及環境影響等方面的問題。
5.體積小、使用方便，它可以被廣泛應用于學校教學和科普活動中，幫助學生和大眾更直觀地了解微觀世界。
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